Измерительный модуль использует спектральную конфокальную технологию, которая позволяет бесконтактно и с высокой точностью измерять информацию о высоте различных материалов.
В сочетании с модулем сканирования XY с обратной связью и алгоритмом 3D-визуализации можно получать тонкие поверхностные микроструктуры.
В многофункциональном модуле постобработки графики также можно гибко выполнять обработку изображений, 3D-анализ, контурный анализ, анализ шероховатости и т.д.
Лазерные спектроскопические конфокальные микроскопы серии ICX используются в прецизионной механической обработке, обработке поверхностей, трении и износе, разработке новых материалов, разработке топливных элементов, производстве MEMS, производстве пластин, прецизионном оптическом производстве, испытаниях деталей, микрожидкостных чипах, мембранных структурах, микро-нанодобавках и других областях.